Bei dem CARIX-Verfahren durchströmt das Rohwasser die Ionenaustauschfilter, wo die eigentliche Teilentsalzung stattfindet. Dabei werden Nitrat, Sulfat, Chlorid, Calcium, Magnesium und Karbonathärte reduziert. Als Reaktionsprodukt entsteht Kohlensäure, die in Wasser und Kohlendioxid zerfällt.
Das entstandene Kohlendioxid wird im nachgeschalteten Reinwasserriesler wieder entfernt. Für die Entgasung wird Luft mit einem Radialventilator im Gegenstrom zum Reinwasser durch den Riesler geführt.

Durch die Wahl des Regenerationsmittels CO₂ findet keine Aufsalzung im Reinwasser und im Abwasser durch Chemikalien statt. Mit dem Abwasser fallen nur die Stoffe in konzentrierter Form an, die zuvor aus dem Rohwasser entfernt wurden. Das Regenerationsmittel CO₂ wird zu 95% zurückgewonnen und im Prozess wieder verwendet.